三丰明场近紫外校正物镜 M Plan Apo NUV数与应用

发布时间:2025-09-03 14:13:53
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三丰明场近紫外校正物镜 M Plan Apo NUV数与应用

三丰(Mitutoyo)的 M Plan Apo NUV 系列物镜是专为明场观察和激光加工应用设计的高端无限远校正物镜,以其在近紫外(NUV)到可见光波段的优异校正能力和长工作距离而闻名。


下面是这款物镜一些主要型号的关键参数,方便你快速了解:


| 特性参数         | M Plan Apo NUV 10× | M Plan Apo NUV 20× | M Plan Apo NUV 50× | M Plan Apo NUV 100× | M Plan Apo NUV HR 50× (高分辨率) |

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| 型号货号     | 378-809-5          | 378-817-8          | 378-818-8          | 378-819-4           | 378-888-6                        |

| 数值孔径 (NA) | 0.28               | 0.42               | 0.44               | 0.50                | 0.65                             |

| 工作距离 (WD) | 30.5 mm            | 17.0 mm            | 15.0 mm            | 11.0 mm             | 10.0 mm                          |

| 焦距 (f)     | 20 mm              | 10 mm              | 4 mm               | 2 mm                | 4 mm                             |

| 分辨率 (R)   | 1.0 μm             | 0.7 μm             | 0.6 μm             | 0.6 μm              | 0.42 μm                          |

| 物镜单体焦深 | 3.5 μm             | 1.6 μm             | 1.4 μm             | 1.1 μm              | 0.65 μm                          |

| 视野 (ø24目镜) | Ø2.4 mm            | Ø1.2 mm            | Ø0.48 mm           | Ø0.24 mm            | Ø0.48 mm                         |

| 重量         | 255 g              | 340 g              | 350 g              | 380 g               | 500 g                            |


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主要特点与优势:


  优异的光学校正:该系列物镜是平场复消色差(Plan Apochromat) 物镜。这意味着它们能对球差、彗差、色差等多种像差进行高度校正,能在整个视场内提供平坦、高对比度、高保真且色差极小的图像,这对于精密观察和测量至关重要。

  近紫外至可见光校正:专门针对近紫外区域(特别是355nm波长,如常见的Nd:YAG三倍频激光器)到可见光范围进行了优化校正。这意味着在355nm激光加工时,能有效减少色差,保证激光焦点质量,同时在可见光范围内观察时也能获得优异成像效果。

  长工作距离(WD):该系列物镜提供了相对于其放大倍数和数值孔径而言较长的工作距离。这使得它们在需要非接触式检测、激光加工(有足够的空间避免激光头与样品碰撞)、或者观察有突出特征的样品时非常有用。

  高分辨率型号(HR):提供高分辨率(HR)型号(例如50倍的378-888-6)。与标准型相比,其分辨率可提高约50%以上,这对于观察更精细的结构细节至关重要。

  无限远光学系统:采用无限远校正光学设计,允许在物镜和镜筒透镜之间加入平行光路,便于插入滤光片、偏振片、DIC棱镜等附件而不影响成像质量,系统配置更灵活。

  激光应用兼容性:不仅适用于明场观察,也适用于激光加工应用(如激光修复、打标、切割等)。物镜设计使得即使使用的波长在可见区到近紫外区之间变化,也能在焦深范围内保持工件图像聚焦。


典型应用场景:


M Plan Apo NUV 物镜因其独特性能,常用于以下领域:


  半导体与电子行业检测:用于晶圆、集成电路(IC)、微电子元件、导电粒子等的高精度缺陷检测和尺寸测量。

  激光加工与微细加工:特别适用于基于355nm紫外激光的微加工系统,如半导体电路修复(FIB辅助后修复)、液晶面板缺陷修正、打标、薄膜处理等。

  精密工业检测:对金属、树脂、印刷表面等材料进行高分辨率形貌观察和测量。

  研究与开发:在科研和工业研发中,需要同时进行高分辨率光学观察和紫外激光干预的实验场合。


选购与使用注意事项:


  型号选择:根据你的分辨率要求、工作距离需求和预算选择合适放大倍数和型号(标准版还是高分辨率HR版)。例如,50X HR型号分辨率更高,但工作距离相对缩短,重量增加,价格也更贵。

  兼容性:确保物镜的接口螺纹(通常是M26 x 0.706) 与你的显微镜镜臂或激光加工平台兼容。三丰的许多无限远物镜具有95mm的齐焦距离。

  镜筒透镜:无限远校正物镜需要与匹配的镜筒透镜(通常焦距为200mm) 配合使用才能获得zui佳成像效果。

  透过率考量:虽然物镜本身在紫外波段有较好校正,但整个光路系统(包括其他透镜、分光镜等)的紫外透过率也需要保证。

     专业咨询:请联系我们18866620378


希望这些信息能帮助你更好地了解三丰 M Plan Apo NUV 物镜。